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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和外延层的质量。
扫描电子显微镜：可观察外延生长结的表面形貌和结构。
原子力显微镜：用于检测外延生长结的表面粗糙度和形貌。
拉曼光谱仪：可分
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和外延层的质量。
扫描电子显微镜：可观察外延生长结的表面形貌和结构。
原子力显微镜：用于检测外延生长结的表面粗糙度和形貌。
拉曼光谱仪：可分析外延生长结的晶体质量和成分。
霍尔效应测试仪：用于测量外延生长结的电学性质。
