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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析外延层的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可以观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌。
光致发光谱仪：检测
X 射线衍射仪：用于分析外延层的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可以观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌。
光致发光谱仪：检测外延层的发光性能。
霍尔效应测试仪：测量外延层的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
