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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析外延生长基底的晶体结构和取向。
原子力显微镜：可检测基底表面的形貌和粗糙度。
荧光光谱仪：用于检测基底中的杂质和缺陷。
霍尔效应测试仪：测量基底的电
X 射线衍射仪：用于分析外延生长基底的晶体结构和取向。
原子力显微镜：可检测基底表面的形貌和粗糙度。
荧光光谱仪：用于检测基底中的杂质和缺陷。
霍尔效应测试仪：测量基底的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
拉曼光谱仪：分析基底的化学键和晶体结构。
扫描电子显微镜：观察基底的微观结构和表面形貌。
椭圆偏振仪：测量基底的光学性质，如折射率和厚度。
热重分析仪器：研究基底的热稳定性和成分分析。
