外延隔离检测是指对外延层与衬底之间的隔离效果进行检测，以确保外延层的质量和性能。外延隔离检测通常使用以下仪器：

1. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察外延层的表面形貌和结构，以及检测外延层与衬底之间的界面质量。

2. 原子力显微镜（AFM）：用于测量外延层的表面粗糙度和厚度，以及检测外延层与衬底之间的界面平整度。

3. 拉曼光谱仪（Raman spectrometer）：用于检测外延层的晶体结构和化学成分，以及检测外延层与衬底之间的界面化学键。

4. 光致发光光谱仪（PL spectrometer）：用于检测外延层的发光性能和量子效率，以及检测外延层与衬底之间的界面缺陷。

5. 霍尔效应测试仪（Hall effect tester）：用于测量外延层的电学性能，如电阻率、载流子浓度和迁移率等，以及检测外延层与衬底之间的界面电学特性。

6. 电容-电压测试仪（C-V tester）：用于测量外延层的电容-电压特性，以及检测外延层与衬底之间的界面电学特性。

7. 热重分析（TGA）：用于检测外延层的热稳定性和热分解行为，以及检测外延层与衬底之间的界面热稳定性。

8. 差示扫描量热仪（DSC）：用于测量外延层的热转变温度和热焓变化，以及检测外延层与衬底之间的界面热稳定性。

9. X 射线衍射仪（XRD）：用于检测外延层的晶体结构和取向，以及检测外延层与衬底之间的界面晶体结构。

10. 透射电子显微镜（TEM）：用于观察外延层的微观结构和晶体缺陷，以及检测外延层与衬底之间的界面微观结构。