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文章概述：原子力显微镜（AFM）：可以用于检测外延堆垛层错的形貌和高度信息。
X 射线衍射（XRD）：可以分析外延层的晶体结构和堆垛层错的类型。
透射电子显微镜（TEM）：能够提供高分辨率的图像，用于直
原子力显微镜（AFM）：可以用于检测外延堆垛层错的形貌和高度信息。
X 射线衍射（XRD）：可以分析外延层的晶体结构和堆垛层错的类型。
透射电子显微镜（TEM）：能够提供高分辨率的图像，用于直接观察外延堆垛层错的结构。
扫描电子显微镜（SEM）：可用于观察外延层的表面形貌和堆垛层错的分布。
拉曼光谱仪：可以分析外延层的晶体质量和堆垛层错的特征。
