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文章概述：外延隔离检测主要用于半导体制造领域，用于检测外延层与衬底之间的隔离性能。常见的外延隔离检测对象包括但不限于：半导体器件：如二极管、晶体管、集成电路等。外延片：如硅外延片
外延隔离检测主要用于半导体制造领域，用于检测外延层与衬底之间的隔离性能。
常见的外延隔离检测对象包括但不限于：
半导体器件：如二极管、晶体管、集成电路等。
外延片：如硅外延片、砷化镓外延片等。
衬底：如硅衬底、蓝宝石衬底等。
外延生长工艺：如化学气相沉积、分子束外延等。
隔离结构：如 PN 结、肖特基结等。
金属-半导体接触：如欧姆接触、肖特基接触等。
电性能：如漏电流、击穿电压等。
