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文章概述：外延片检测主要用于半导体行业，用于评估外延片的质量和性能。常见的外延片检测项目包括但不限于：晶体结构：如晶格常数、晶体取向等。电学性能：如电阻率、载流子浓度等。光学性能
外延片检测主要用于半导体行业，用于评估外延片的质量和性能。
常见的外延片检测项目包括但不限于：
晶体结构：如晶格常数、晶体取向等。
电学性能：如电阻率、载流子浓度等。
光学性能：如发光波长、光强等。
表面形貌：如粗糙度、平整度等。
杂质含量：如金属杂质、氧含量等。
厚度：如外延层厚度、衬底厚度等。
缺陷检测：如位错、裂纹等。
