外延生长检测通常包括对外延层的结构、成分、电学和光学性能的测试，以确保外延层的质量和性能符合预期要求。

X 射线衍射（XRD）分析：用于确定外延层的晶体结构和取向。

扫描电子显微镜（SEM）观察：检查外延层的表面形貌和微观结构。

原子力显微镜（AFM）分析：提供更高分辨率的表面形貌信息。

二次离子质谱（SIMS）分析：检测外延层中的杂质和元素分布。

光致发光（PL）谱分析：评估外延层的光学性能和缺陷态。

霍尔效应测量：确定外延层的电学性质，如载流子浓度和迁移率。

电容-电压（C-V）特性测量：分析外延层的电学特性和界面质量。

电阻率测量：评估外延层的电阻特性。

击穿电压测量：检测外延层的电学强度。

光学反射率和透射率测量：确定外延层的光学常数和薄膜厚度。

拉曼光谱分析：提供关于外延层的结构和化学键的信息。

热导率测量：评估外延层的热传导性能。

热膨胀系数测量：了解外延层在温度变化时的尺寸变化。

化学分析：检测外延层中的化学成分和杂质含量。

晶体缺陷检测：如位错密度和缺陷类型的评估。

外延层厚度测量：确定外延层的实际厚度。

界面粗糙度测量：评估外延层与衬底之间的界面质量。

量子效率测量：用于光电器件外延层的性能评估。

少数载流子寿命测量：反映外延层的材料质量和电学性能。

掺杂浓度测量：确定外延层中的掺杂元素浓度。

晶格常数测量：了解外延层的晶体结构参数。

应力测量：评估外延层中的应力分布和大小。

晶体质量评估：通过多种方法综合评估外延层的晶体质量。

外延层均匀性测试：检查外延层在整个样品上的性能一致性。

电学稳定性测试：监测外延层在长时间使用后的电学性能变化。

光学稳定性测试：评估外延层在不同环境条件下的光学性能稳定性。

可靠性测试：对外延层进行可靠性评估，以确保其在实际应用中的稳定性和耐久性。