外延检测通常包括对半导体外延层的物理、化学、电学和光学性能的测试，以确保其质量和性能符合特定的要求。

厚度测量：使用干涉仪、椭偏仪或其他方法测量外延层的厚度。

成分分析：通过 X 射线衍射、俄歇电子能谱或其他技术确定外延层的化学组成。

晶体结构分析：利用 X 射线衍射或电子衍射来研究外延层的晶体结构和晶格参数。

表面形貌分析：使用原子力显微镜、扫描电子显微镜或其他表面分析技术观察外延层的表面形貌。

电学性能测试：包括电阻率、载流子浓度、迁移率等电学参数的测量。

光学性能测试：如光致发光谱、吸收光谱等，评估外延层的光学特性。

缺陷检测：通过化学腐蚀、电子显微镜或其他方法检测外延层中的缺陷。

热稳定性测试：考察外延层在高温环境下的性能稳定性。

应力测试：测量外延层中的应力分布。

量子效率测试：对于发光外延层，测量其量子效率。

电容-电压（C-V）测试：用于评估外延层的电学特性和掺杂浓度。

霍尔效应测试：确定外延层中的载流子类型和浓度。

扩散长度测量：评估外延层中载流子的扩散长度。

界面特性测试：分析外延层与衬底之间的界面质量。

可靠性测试：包括温度循环、湿度测试等，评估外延层的长期可靠性。

发光波长和强度测试：对于发光外延层，测量其发光波长和强度。

色坐标测试：确定发光外延层的颜色坐标。

量子阱结构分析：对于量子阱外延层，研究其量子阱结构和特性。

掺杂分布测量：评估外延层中掺杂剂的分布情况。

晶体取向测试：确定外延层的晶体取向。

外延生长速率测量：监测外延生长过程中的生长速率。

外延层均匀性测试：评估外延层在整个晶片上的均匀性。

外延层平整度测试：测量外延层的表面平整度。

外延层粗糙度测试：评估外延层表面的粗糙度。

外延层应力分布测试：分析外延层中应力的分布情况。

外延层结晶质量测试：评估外延层的结晶质量。

外延层电学均匀性测试：测量外延层在电学性能上的均匀性。

外延层光学均匀性测试：评估外延层在光学性能上的均匀性。

外延层热导率测试：测量外延层的热导率。

外延层热膨胀系数测试：确定外延层的热膨胀系数。