外延淀积检测是用于评估外延淀积过程和淀积层质量的一系列测试方法。以下是一些常见的外延淀积检测项目：

厚度测量：使用光学或机械方法测量外延淀积层的厚度。

掺杂浓度测量：确定外延层中的掺杂剂浓度。

晶体结构分析：通过 X 射线衍射等技术分析外延层的晶体结构。

表面粗糙度测量：评估外延层表面的粗糙度。

电阻率测量：测量外延层的电阻率。

霍尔效应测量：确定外延层中的载流子类型和浓度。

光学性能测试：如反射率、透过率等。

化学成分分析：检测外延层中的元素组成。

缺陷检测：寻找外延层中的缺陷，如位错、空洞等。

热稳定性测试：评估外延层在高温下的稳定性。

应力测量：测量外延层中的应力分布。

界面质量检测：检查外延层与衬底之间的界面质量。

均匀性测试：评估外延层在整个样品上的均匀性。

扩散长度测量：确定外延层中的少数载流子扩散长度。

量子效率测量：用于光电器件外延层的性能评估。

发光性能测试：如发光强度、波长等。

电容-电压特性测量：分析外延层的电学特性。

少数载流子寿命测量：评估外延层的少数载流子寿命。

二次离子质谱（SIMS）分析：提供深度方向的化学成分信息。

原子力显微镜（AFM）分析：观察外延层的表面形貌。

扫描电子显微镜（SEM）分析：用于表面和截面形貌观察。

能谱分析（EDS）：确定外延层中的元素组成。

俄歇电子能谱（AES）分析：提供表面化学成分信息。

拉曼光谱分析：研究外延层的结构和成分。

傅里叶变换红外光谱（FTIR）分析：检测化学键和官能团。

热导率测量：评估外延层的热传导性能。

热膨胀系数测量：确定外延层的热膨胀特性。

硬度测试：测量外延层的硬度。

耐磨性测试：评估外延层的耐磨性能。

耐腐蚀性测试：检测外延层对化学腐蚀的抵抗能力。