外延生长结检测主要涉及对外延生长结构的物理、电学和光学特性进行评估，以确保其质量和性能符合预期。

晶体结构分析：通过 X 射线衍射等技术确定外延层的晶体结构和取向。

厚度测量：使用光学干涉法、扫描电子显微镜等方法测量外延层的厚度。

成分分析：如二次离子质谱、X 射线光电子能谱等，确定外延层的元素组成。

电学特性测试：测量电阻率、载流子浓度、迁移率等电学参数。

霍尔效应测试：确定外延层的导电类型和载流子浓度。

电容-电压（C-V）测试：评估外延层中的杂质分布和界面特性。

光致发光（PL）测试：检测外延层的发光特性，用于评估晶体质量和杂质浓度。

深能级瞬态谱（DLTS）测试：分析外延层中的深能级缺陷。

扫描电子显微镜（SEM）观察：检查外延层的表面形貌和微观结构。

原子力显微镜（AFM）观察：提供更详细的表面形貌信息。

位错密度测量：评估外延层中的位错数量和分布。

应力测量：如拉曼光谱，确定外延层中的应力状态。

热稳定性测试：考察外延层在高温环境下的性能稳定性。

界面质量评估：通过高分辨率透射电子显微镜等技术分析外延层与衬底的界面。

量子效率测试：测量外延层的光转换效率。

发光二极管（LED）特性测试：如果外延层用于 LED，进行相关的电学和光学特性测试。

激光二极管（LD）特性测试：对于用于 LD 的外延层，进行相应的特性评估。

外延生长速率测量：监测外延生长过程中的生长速率。

表面粗糙度测量：评估外延层表面的粗糙度。

杂质分布测量：确定外延层中杂质的分布情况。

晶体质量评估：通过多种技术综合评估外延层的晶体质量。

外延层均匀性测试：检验外延层在整个样品上的性能均匀性。

光学透过率测试：测量外延层的光学透过率。

反射率测试：确定外延层的反射特性。

外延层掺杂浓度测量：检测外延层中的掺杂剂浓度。

外延层缺陷检测：使用多种技术检测外延层中的缺陷，如位错、空洞等。

外延层应变测量：评估外延层中的应变状态。

外延层量子阱结构分析：对于量子阱结构的外延层，进行相关的结构和特性分析。

外延层热导率测量：确定外延层的热传导性能。

外延层硬度测试：测量外延层的硬度。