检测项目

1.面形精度：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS≤λ/402.透过率偏差：可见光波段（400-700nm）≤1.5%3.MTF测试：空间频率50lp/mm时对比度≥0.64.阵列间距公差：2μm（基准间距≤1mm）5.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（白光干涉法测量）6.波前畸变：RMS≤0.05λ（@546.1nm）7.热稳定性：-40℃~85℃循环后面形变化≤λ/10

检测范围

1.工业级多目立体视觉模组2.VR/AR近眼显示光学系统3.光场相机微透镜阵列4.激光雷达准直透镜组5.内窥镜成像光纤束端面6.半导体光刻机投影物镜组7.红外焦平面阵列探测器

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件面形公差规范2.GB/T26331-2010光学薄膜透过率测试方法3.ASTMF2156-19微透镜阵列特性表征标准4.ISO9334:2019光学系统MTF测量规程5.GB/T13323-2009光学零件表面粗糙度测试6.ISO14999-4:2015光学元件波前误差检测7.MIL-STD-810H环境适应性试验方法

检测设备

1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，精度λ/10002.TriopticsMTF1000Pro调制传递函数分析仪：分辨率0.5μm3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm4.ShimadzuAIM-9000红外热像仪：温度灵敏度0.03℃5.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：最大倍率10800x6.AgilentCary7000全能型分光光度计：波长范围175-3300nm7.OptikosLensCheck系列焦斑分析仪：动态范围120dB8.KeysightN1076A相位敏感干涉测量系统：重复性0.59.MitutoyoCMM坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm10.ESRIOptiCentric双光路中心偏测量仪：角度分辨率1"

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。