检测项目

1.气体浓度测定：定量分析SF₅体积分数（0.1ppm-100%量程）2.纯度等级验证：测定主成分含量≥99.99%（按GB/T14852标准）3.杂质气体分析：包括O₂（≤50ppm）、N₂（≤100ppm）、H₂O（≤20ppm）等4.分解产物监测：重点检测SOF₂（阈值≤5ppm）、HF（阈值≤2ppm）5.物理特性测试：密度（6.14g/L0.05）、蒸气压（-50℃时≤10kPa）

检测范围

1.特种工业气体：半导体制造用高纯SF₅原料气2.电力设备绝缘介质：GIS开关设备填充气体3.高分子材料：含氟聚合物生产中间体4.金属加工：镁合金熔炼保护气体5.环境监测：工业废气中SF₅排放监控

检测方法

1.ASTMD6357-19：气相色谱法测定含氟气体组分2.ISO19230:2020：质谱联用技术分析痕量杂质3.GB/T28727-2012：红外吸收法测定气体纯度4.IEC62271-203：电气设备中SF₅分解产物检测规程5.GB12373-90：化学滴定法测定酸性分解物含量

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配备FID/ECD双检测器系统2.ThermoScientificISQ7000单四极杆质谱仪：质量范围1-1050amu3.BrukerVERTEX80v傅里叶红外光谱仪：分辨率0.1cm⁻4.MettlerToledoDL39KarlFischer滴定仪：精度1μgH₂O5.HoribaVA-5000多组分气体分析仪：支持SF₅/SO₂/HF同步检测6.AMETEKProStatPF-300露点仪：测量范围-100~+20℃7.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪：现场快速筛查系统8.DrgerX-am5600多气体探测器：实时监测SF₅泄漏浓度9.AntonPaarDMA4500M密度计：测量精度0.0001g/cm10.KANOMAX1121精密压力计：量程0-100kPa0.05%FS

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。