检测项目

电阻特性检测：

• 电阻率测量：方阻值（Ω/sq，参照ASTM F76）
• 导电率测试：电导率（S/m）
• 表面电阻：表面电阻率（Ω）

载流子特性检测：

• 载流子浓度：浓度值（cm⁻³，参照IEC 60749）
• 载流子寿命：寿命值（μs）
• 复合速率：复合系数（s⁻¹）

霍尔效应检测：

• 霍尔系数：系数值（m³/C）
• 霍尔迁移率：迁移率值（cm²/V·s）
• 霍尔电压：电压值（V）

介电特性检测：

• 介电常数：介电值（F/m）
• 介质损耗：损耗因子（tanδ）
• 电容密度：电容值（F/cm²）

电容-电压特性检测：

• C-V曲线分析：电容变化率（%）
• 平带电压：电压值（V）
• 界面态密度：密度值（cm⁻²·eV⁻¹）

电流-电压特性检测：

• I-V曲线测试：电流密度（A/cm²）
• 击穿电压：电压值（V）
• 漏电流：电流值（A）

迁移率测试：

• 电子迁移率：迁移率值（cm²/V·s）
• 空穴迁移率：迁移率值（cm²/V·s）
• 温度依赖性：迁移率变化率（%/K）

能带结构分析：

• 带隙测量：带隙值（eV）
• 费米能级：能级位置（eV）
• 载流子分布：分布函数

热导率测试：

• 热导率测量：热导率值（W/m·K）
• 热扩散系数：系数值（m²/s）
• 热阻：热阻值（K/W）

表面特性检测：

• 表面电势：电势值（V）
• 表面粗糙度：粗糙度值（nm）
• 接触电阻：电阻值（Ω）

检测范围

1. 单晶硅材料： 重点检测电阻率均匀性、载流子迁移率和热稳定性，适用集成电路制造。

2. 多晶硅材料： 侧重表面电阻、介电损耗和电流-电压特性，用于太阳能电池。

3. 砷化镓材料： 检测霍尔系数、载流子浓度和介电常数，应用于高频器件。

4. 碳化硅材料： 评估击穿电压、热导率和迁移率，针对功率半导体。

5. 氮化镓材料： 重点测试电容-电压特性、载流子寿命和表面电势，用于LED和射频器件。

6. 硅锗合金材料： 检测电阻率、载流子分布和能带结构，适用高速电子器件。

7. 氧化锌材料： 侧重介电特性、霍尔迁移率和电流密度，用于传感器和显示技术。

8. 有机半导体材料： 评估表面电阻、I-V曲线和载流子浓度，针对柔性电子。

9. 量子点材料： 检测载流子寿命、电容密度和热扩散系数，应用于光电器件。

10. 薄膜半导体材料： 重点测试电阻率均匀性、介电损耗和迁移率，用于平板显示。

检测方法

国际标准：

• ASTM F76-08 半导体材料电阻率测试
• IEC 60749-3 半导体器件载流子浓度测量
• ISO 1853 导电材料电阻率测定
• JIS H0601 硅材料电特性测试
• DIN 50431 霍尔效应测量方法

国家标准：

• GB/T 1551-2016 半导体材料电阻率测试方法
• GB/T 1552-2020 半导体材料霍尔系数测试方法
• GB/T 16525-2018 半导体材料电容-电压特性测试
• GB/T 16526-2017 半导体材料载流子浓度测试
• GB/T 16527-2019 半导体材料介电常数测试

（方法差异说明：国际标准如ASTM F76采用四探针法，测量精度±1%，而GB/T 1551增加温度补偿要求；霍尔效应测试中，IEC 60749-3使用恒定电流源，GB/T 1552引入磁场校准步骤；电容-电压特性测试中，ISO 1853侧重低频范围，GB/T 16525扩展高频应用）

检测设备

1. 四探针测试仪： Keithley 2400型（电阻范围0.01Ω-100MΩ，精度±0.1%）

2. 霍尔效应测试系统： Lake Shore 8400系列（磁场强度0-2T，分辨率0.1mT）

3. 电容-电压测试仪： Agilent B1500A型（频率范围1kHz-1MHz，电容分辨率0.1pF）

4. 电流-电压测试仪： Keysight B2900A型（电流范围1pA-10A，电压范围±210V）

5. 迁移率分析仪： Accent HL5500型（温度范围-200°C-300°C，迁移率精度±2%）

6. 阻抗分析仪： Solartron 1260A型（频率范围10μHz-32MHz，阻抗范围1mΩ-100MΩ）

7. 热探针系统： Linseis THB-100型（热导率范围0.01-100W/m·K，温度精度±0.1°C）

8. 表面电阻计： Trek 152-1型（电阻范围10⁶-10¹⁴Ω，表面分辨率0.1μm）

9. 能带分析仪： Horiba LabRAM HR型（光谱范围200-1000nm，能带分辨率0.01eV）

10. 介电常数测试仪： Novocontrol Alpha-A型（频率范围10μHz-20MHz，介电常数精度±0.5%）

11. 载流子寿命测试仪： Semilab WT-2000型（寿命范围1ns-10ms，温度控制-50°C-150°C）

12. 热扩散系数仪： Netzsch LFA 467型（热扩散范围0.1-1000mm²/s，精度±1%）

13. 电流密度分析仪： Tektronix PA3000型（电流密度范围0.1mA/cm²-10A/cm²，分辨率0.01mA/cm²）

14. 表面电势计： KP Technology SKP5050型（电势范围-10V-10V，空间分辨率1μm）

15. 复合速率测试仪： Bentham PVE300型（复合系数范围10⁻⁶-10³ s⁻¹，温度稳定性±0.5°C）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。