检测项目

1.狭缝宽度误差检测：测量范围0.1-500μm，精度0.05μm2.平行度偏差分析：最大允许偏差0.3μm/100mm3.表面粗糙度测试：Ra值检测下限0.01μm4.材料成分分析：元素含量检测精度达ppm级5.耐腐蚀性评估：ASTMG59标准下极化曲线测试

检测范围

1.金属合金狭缝组件（钨铜合金/钛合金）2.陶瓷基复合狭缝（氧化铝/氮化硅）3.半导体晶圆加工用硅基狭缝4.高分子聚合物精密狭缝（PEEK/PTFE）5.镀膜处理金属狭缝（金镀层/类金刚石涂层）

检测方法

1.ASTME112-13晶粒度测定法2.ISO4287:1997表面粗糙度轮廓法3.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范（GPS）4.ISO1463:2003金属镀层厚度测量法5.GB/T10125-2021人造气氛腐蚀试验

检测设备

1.HitachiSU5000场发射扫描电镜：分辨率0.8nm@15kV2.TaylorHobsonFormTalysurfi120轮廓仪：垂直分辨率0.1nm3.HexagonGlobalClassic三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm4.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：角度重复性0.00015.Keysight5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.01nm6.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：检出限≤ppt级7.ZEISSAxioImagerA2m金相显微镜：最大放大倍数15008.ShimadzuHMV-G21显微硬度计：载荷范围10gf-2kgf9.Agilent6890N气相色谱仪：保留时间重复性RSD＜0.05%10.MTSC45万能材料试验机：载荷精度0.5%FS

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。