检测项目

1.汞柱垂直高度测量：基准值7600.05mm（标准大气压下）2.真空腔体泄漏率：≤110⁻⁶Pam/s3.温度稳定性控制：0.1℃/24h4.汞纯度分析：≥99.9995%（ASTMB774）5.残余气体分压测定：≤10⁻⁴Pa（氮当量）

检测范围

1.半导体晶圆制造用真空腔体2.高能物理实验用粒子加速器真空管道3.航空航天领域密封舱体组件4.医用直线加速器真空波导管5.精密光学镀膜设备真空室

检测方法

1.ISO3529:2018《Vacuumtechnology-Measurementofgasflow》2.GB/T19955.2-2021《真空技术汞柱压力计校准规范》3.ASTME2963-22《StandardPracticeforMercuryIntrusionPorosimetry》4.JISZ8764:2019《真空計測方法》5.GB/T34879-2017《真空设备漏率测试方法》

检测设备

1.AgilentU3600A数字压力计（分辨率0.001mmHg）2.LeyboldPHOENIXL300检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）3.Keysight34465A高精度温度记录仪（0.003℃精度）4.RenishawXL-80激光干涉仪（线性测量精度0.5ppm）5.PfeifferVacuumQMG220质谱检漏仪（质量范围1-100amu）6.MKS925B电容薄膜规（量程10⁻⁴~1000Torr）7.Fluke1523测温电桥（四线制0.001Ω分辨率）8.EdwardsXDS35i干式涡旋泵（极限压力510⁻mbar）9.INFICONHLD5000氦质谱检漏仪（响应时间＜1s）10.ThermoScientificOrionStarA221台式pH计（电极精度0.001）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。