检测项目

1.厚度偏差：测量精度0.1μm（依据ISO10110-3标准）2.楔角公差：角分辨率0.1arcsec（ASTME259规范）3.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶（GB/T7962.1要求）4.表面面形精度：PV值≤λ/10@632.8nm（ISO14997标准）5.应力双折射：δ≤2nm/cm（DIN3140第7部分）

检测范围

1.激光谐振腔用高精度石英楔2.傅里叶变换光谱仪补偿元件3.半导体光刻机偏振控制模组4.天文望远镜消色差棱镜组件5.光纤通信DWDM滤波器件

检测方法

1.几何尺寸测量：采用ISO10110-3:2015光学元件制图标准2.应力双折射分析：执行GB/T1185-2006应力双折射测试规程3.表面粗糙度评定：依据ISO10110-8:2019表面缺陷验收标准4.折射率均匀性测试：参照ASTME259-16干涉测量法5.环境稳定性验证：按GB/T12085.4-2010温度循环试验规范

检测设备

1.ZYGOVerifireMST激光干涉仪：面形精度测量（λ/100分辨率）2.MitutoyoCMM-A575三坐标机：三维几何尺寸检测（0.5μm精度）3.HindsPEM-100光弹仪：应力双折射定量分析（0.1nm/cm灵敏度）4.AgilentCary7000分光光度计：透射波前畸变测试（190-2500nm波段）5.OlympusSTM7测量显微镜：表面缺陷观测（500倍放大倍率）6.NewportAutoAlign旋转平台：楔角精密测量（0.05arcsec角分辨率）7.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测试（动态范围＞40dB）8.KeysightN5227B网络分析仪：高频介电特性表征（10MHz-67GHz）9.MahrMarSurfLD260轮廓仪：边缘倒角形貌测量（0.8nm纵向分辨率）10.EscoVacciPrep环境试验箱：温湿度循环测试（-70℃~180℃范围）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。