检测项目

1.元素成分分析：能量分辨率≤0.5eV@Ag3d5/2峰，检出限0.1-5at%2.化学态分析：结合能精度0.1eV，峰位重复性误差＜0.05eV3.表面形貌分析：横向分辨率≤1nm（场发射模式），深度探测范围0.5-10nm4.深度剖析：溅射速率0.1-50nm/min（Ar+离子束），深度分辨率≤5nm5.元素分布成像：空间分辨率≤50nm（EDS/WDS联用模式）

检测范围

1.金属材料：铝合金表面氧化层厚度测量（50-2000nm）2.半导体器件：GaN外延层掺杂浓度分析（1E15-1E20atoms/cm）3.陶瓷材料：ZrO2相变过程中氧空位浓度变化监测4.高分子材料：PET薄膜表面氟化改性层元素分布表征5.生物医学材料：钛合金植入体表面羟基磷灰石涂层Ca/P比测定

检测方法

1.X射线光电子能谱法（XPS）：ASTME1508-20,ISO15470:20172.俄歇电子能谱法（AES）：GB/T26533-2011,ISO21270:20043.能量色散谱法（EDS）：GB/T17359-2023,ASTME1508-204.波长色散谱法（WDS）：ISO15632:2021,GB/T20726-20225.二次离子质谱法（SIMS）：ISO23830:2023,ASTME1504-11(2023)

检测设备

1.ThermoScientificK-AlphaX射线光电子能谱仪：单色化AlKα源（1486.6eV），配备6轴样品台2.OxfordInstrumentsX-MaxN80EDS探测器：硅漂移型传感器，有效面积80mm3.JEOLJAMP-9500F俄歇纳米探针：场发射电子枪（加速电压0.1-30kV）4.CamecaIMS7f-auto二次离子质谱仪：双等离子体离子源（O-/Cs+），质量分辨率＞100005.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：Cu靶陶瓷X光管（40kV/40mA），配备LynxEye阵列探测器6.HitachiSU9000冷场发射电镜：加速电压0.5-30kV，配备BrukerQuantaxEDS系统7.ShimadzuEPMA-8050G电子探针：WDX光谱仪（4道罗兰圆分光晶体）8.ULVAC-PHIVersaProbeIV扫描XPS微区分析系统：束斑尺寸＜10μm9.ZeissCrossbeam550聚焦离子束系统：Ga+离子束（30kV/100pA-50nA）10.Agilent8500F傅里叶变换红外光谱仪：光谱范围7800-350cm⁻，分辨率0.09cm⁻

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。