检测项目

表面形貌检测：

• 算术平均粗糙度（Ra）：≤0.02μm（参照ISO4287）
• 均方根粗糙度（Rq）：≤0.025μm
• 最大峰谷高度（Rt）：≤0.1μm

• 散射损耗系数：≤0.05%（参照ISO10110-8）
• 透射率均匀性：偏差≤±0.5%
• 波前畸变：RMS值≤λ/20（λ=632.8nm）

• 表面硬度：维氏硬度≥600HV（参照ASTME384）
• 抗划伤性能：划痕深度≤0.05μm

• 表面元素含量：杂质总量≤10ppm（参照GB/T13794）
• 涂层成分偏差：±0.1wt%

• 热循环稳定性：-40°C~85°C循环后Ra变化≤5%
• 湿度耐受性：95%RH环境后表面腐蚀等级≤1级

• 磨损率：≤0.001mg/cycle（参照ISO9352）
• 摩擦系数：≤0.2

• 抗反射膜厚度：100±5nm
• 保护层均匀性：偏差≤±2%

• 热膨胀系数：≤8×10⁻⁶/°C
• 高温形变：150°C下表面翘曲≤0.01mm

• 微粒污染密度：≤5particles/cm²（粒径>0.5μm）
• 油脂残留量：≤0.1μg/cm²

• 曲率半径偏差：±0.01mm
• 中心厚度公差：±0.005mm

检测范围

1.光学玻璃透镜：涵盖BK7、F2材质，重点检测高透射区域的Ra值和散射均匀性

2.塑料透镜：包括PMMA、PC材料，侧重边缘区域的Rq测试及热变形控制

3.水晶透镜：如石英材质，检测UV波段的表面瑕疵和光学一致性

4.硅基透镜：红外应用硅片，着重检测高温环境下的粗糙度稳定性

5.红外透镜：锗、硫化锌材质，强调中远红外波段的Rt参数和涂层附着力

6.蓝宝石透镜：高硬度材料，核心测试抗划伤性能和表面清洁度

7.菲涅尔透镜：微结构表面，聚焦沟槽区域的Ra均匀性和几何精度

8.微透镜阵列：多单元阵列，检测单元间粗糙度差异和光学串扰

9.涂层透镜：含AR或HR涂层，重点评估涂层厚度均匀性和界面粗糙度

10.复合透镜：混合材质如玻璃-塑料，检测界面区域的Rq值和热应力影响

检测方法

国际标准：

• ISO4287:1997产品几何技术规范表面结构的几何特性参数
• ISO10110-8:2010光学元件制图第8部分：表面纹理
• ISO25178-2:2012几何产品规范表面纹理：区域法

• GB/T1031-2009产品几何技术规范表面结构的几何特性参数
• GB/T13794-2008光学元件表面粗糙度测试方法
• GB/T3505-2009产品几何技术规范表面结构术语定义及参数

检测设备

1.轮廓仪：TaylorHobsonFormTalysurfi-Series（分辨率0.1nm，行程范围200mm）

2.白光干涉仪：ZygoNewView9000（垂直分辨率0.1nm，横向分辨率1μm）

3.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon（扫描范围100μm×100μm，Z轴分辨率0.01nm）

4.激光扫描显微镜：KeyenceVK-X1000（放大倍率10000X，测量精度±1%）

5.三维轮廓仪：MitutoyoSurfTestSJ-410（采样频率1kHz，Ra测量范围0.001-40μm）

6.摩擦磨损试验机：CSMInstrumentsTribometer（载荷范围0.01-10N，速度0.001-100mm/s）

7.硬度计：WilsonHardnessTukon2500（载荷范围10-2000gf，精度±0.5%）

8.光谱椭偏仪：J.A.WoollamM-2000（波长范围190-1700nm，厚度分辨率0.1nm）

9.环境试验箱：WeissTechnikClimaticChamber（温度范围-70°C~180°C，湿度范围10-98%RH）

10.清洁度测试仪：ParticleMeasuringSystemsCountStar（粒子检测下限0.2μm，扫描面积100cm²）

11.热膨胀仪：NetzschDIL402Expedis（温度范围-150°C~1600°C，分辨率0.01μm）

12.光学显微镜：OlympusBX53M（放大倍率50-1000X，集成CCD成像）

13.表面张力仪：KrussDSA100（接触角测量精度±0.1°，温度控制±0.1°C）

14.X射线衍射仪：RigakuSmartLab（角度分辨率0.0001°，扫描速度0.01-100°/min）

15.激光粒度分析仪：MalvernMastersizer3000（粒径范围0.01-3500μm，精度±0.5%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。