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文章概述：1. 砂纸检测仪器：用于检测砂纸的磨粒大小和均匀度。
2. 表面粗糙度仪器：用于测量研磨后工件表面的粗糙度。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察研磨后工件表面的微观形貌。
4. 光学
1. 砂纸检测仪器：用于检测砂纸的磨粒大小和均匀度。
2. 表面粗糙度仪器：用于测量研磨后工件表面的粗糙度。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察研磨后工件表面的微观形貌。
4. 光学显微镜：用于观察研磨后工件表面的微观结构和形貌。
5. 电子天平：用于精确称量研磨前后的工件质量变化。
