检测项目

几何精度检测：

• 平面度验证：密封面平面公差（≤0.005mm，参照ISO 230-1）
• 同轴度检测：传动轴偏心量（≤φ0.003mm）
• 位置重复性：机械臂定位精度（±0.001mm）

• 粗糙度测量：Ra≤0.1μm（SEMI MF1812）
• 微观缺陷筛查：微裂纹深度（≤5μm）

• 拉伸强度：屈服强度≥280MPa（GB/T 228.1）
• 耐腐蚀性：盐雾试验480h无点蚀（ASTM B117）
• 热变形量：200℃下变形率≤0.02%（ISO 306）

• 氦检漏率：≤1×10⁻⁹Pa·m³/s（ISO 3568）
• 密封面硬度：HV≥600

• 磁场均匀性：偏差≤±1%（IEC 60404-14）
• 线圈电阻：温度系数≤0.0039/℃

• 振动模态：基频≥500Hz（ISO 10816）
• 摩擦系数：μ≤0.08（ASTM D1894）

• 颗粒物计数：＞0.3μm颗粒≤100/m³（ISO 14644）
• 有机物残留：TOC≤1μg/cm²

• 绝缘电阻：≥100MΩ（IEC 61010）
• 接地连续性：≤0.1Ω

• 结合强度：≥50MPa（ASTM C633）
• 厚度均匀性：偏差≤±5%（ISO 2178）

• 导热系数：≥200W/m·K（ASTM E1461）
• 热膨胀系数：CTE≤5×10⁻⁶/K

检测范围

1. 铝合金真空腔体： 6061-T6与7075材质，侧重平面度与氦检漏率验证

2. 陶瓷绝缘组件： 氧化铝基陶瓷，重点检测介电强度与微裂纹

3. 不锈钢传动机构： 316L不锈钢件，核心验证疲劳强度与晶间腐蚀

4. 钛合金紧固件： Grade 5钛合金螺栓，检测应力腐蚀敏感性

5. 聚酰亚胺密封圈： Vespel材质，验证高温压缩永久变形率

6. 钕铁硼磁体： N52级永磁体，检测磁通衰减与镀层结合力

7. 石英观察窗： 熔融石英制品，重点检测透光率与热冲击性能

8. 铜合金导热板： C10100无氧铜，核心验证热导率与表面粗糙度

9. PVD涂层部件： 氮化钛涂层，侧重厚度均匀性与显微硬度

10. 碳纤维复合材料： T800级碳纤，检测层间剪切强度与孔隙率

检测方法

国际标准：

• ISO 230-1:2012 机床几何精度检测
• ASTM E92-17 金属材料维氏硬度试验
• SEMI MF1812-2018 硅片设备表面粗糙度测量

• GB/T 11337-2023 平面度误差检测
• GB/T 10125-2021 人造气氛腐蚀试验
• GB/T 34370.6-2020 真空技术检漏方法（国标采用氦质谱法，国际标准允许氢检法替代）

检测设备

1. 三坐标测量机： ZEISS CONTURA 7/10/6（测量精度±0.9μm+L/350）

2. 激光干涉仪： RENISHAW XL-80（线性定位精度±0.5ppm）

3. 氦质谱检漏仪： PFEIFFER ASM 340（最小可检漏率5×10⁻¹²Pa·m³/s）

4. 白光干涉仪： BRUKER ContourGT-K（垂直分辨率0.01nm）

5. 万能材料试验机： SHIMADZU AGX-V（载荷范围1N-100kN，精度±0.5%）

6. 直读光谱仪： ARL 3460 OES（检测下限0.0001%）

7. 扫描电镜： TESCAN MIRA4（分辨率1nm@15kV）

8. 振动分析系统： B&K 3050-B-060（频率范围0.1Hz-25.6kHz）

9. 热膨胀测定仪： NETZSCH DIL 402C（温度范围-150℃-1600℃）

10. 傅里叶红外光谱仪： THERMO Nicolet iS50（波数范围7800-350cm⁻¹）

11. 高低温试验箱： ESPEC SH-241（温控范围-70℃-180℃）

12. 磁场分布测试仪： LAKESHORE 475 DSP（精度±0.25%）

13. 颗粒计数器： MET ONE 3400（粒径分辨率0.3-10μm）

14. 涂层测厚仪： ELEKTROPHYSIK MINITEST 720（量程0-2000μm）

15. 绝缘电阻测试仪： MEGGER MIT515（测试电压50-1000VDC）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。