检测项目

几何尺寸检测：

• 栅线间距：周期公差±1μm（SEMI MF1530）
• 线宽精度：线宽偏差≤±0.5μm（ISO 5436-1）
• 位置偏移：XY轴向偏移量＜2μm

形貌特征检测：

• 边缘粗糙度：Ra值≤0.2μm（ISO 4287）
• 平行度误差：角度偏差＜0.1°
• 塌边宽度：塌边量≤线宽15%

光学参数检测：

• 反射率均匀性：局部波动＜3%
• 透射率一致性：区域差异≤5%

材料特性检测：

• 膜厚均匀性：厚度公差±50nm
• 附着强度：剥离力≥5N/cm（ASTM D3359）

电学性能检测：

• 导通连续性：电阻值波动＜1%
• 绝缘特性：相邻栅线绝缘电阻≥100MΩ

环境适应性检测：

• 热变形量：ΔL/L≤0.05%（85℃/85%RH）
• 湿膨胀系数：CTE＜20ppm/K

耐久性检测：

• 机械磨损：线宽变化率＜3%（1000次摩擦）
• 化学腐蚀：失重率≤0.1mg/cm²（IEC 60068-2-52）

微观结构检测：

• 晶粒尺寸：D50=10±2μm（GB/T 6394）
• 孔隙率：开孔率≤0.5%

表面污染物检测：

• 颗粒污染：≥0.3μm颗粒数＜50个/cm²
• 金属离子：Na+≤1×10¹¹ atoms/cm²

三维形貌检测：

• 高度差：台阶高度公差±0.3μm
• 锥角精度：侧壁角85°±2°

检测范围

1. 光伏电池栅线： 检测银浆/铜栅线的间距均匀性及高宽比，重点监控主栅副栅交叠区域形变

2. 印刷电路板： 精密线路间距检测，侧重多层板层间对位精度及阻抗控制线宽

3. 光栅器件： 衍射光栅周期精度测量，核心监控刻线密度误差及闪耀角一致性

4. 显示面板： ITO导电膜栅格间距检测，关注边缘锯齿度及透光均匀性

5. 滤光片阵列： 微滤光单元间距精度，重点检测彩色滤光片Bayer阵列排布

6. MEMS器件： 微电极阵列间距测量，监控驱动电极位置公差及绝缘间隙

7. 纳米压印模板： 纳米级栅线复制精度，检测母版与复型间的尺寸传递误差

8. 生物芯片： 微流道间距检测，重点控制亲疏水区域边界精度

9. 金属网栅： 电磁屏蔽网孔均匀性，检测最小通孔尺寸及开孔率

10. 光刻掩模版： 铬线图形位置精度，监控X/Y方向最大偏移量及CD均匀性

检测方法

国际标准：

• ISO 4287:1997 表面结构轮廓法术语定义
• SEMI MF1530-0707 光伏电池栅线尺寸测试
• ASTM F1526-21 自动光学检测系统性能表征
• IEC 62941:2019 地面光伏组件设计鉴定

国家标准：

• GB/T 13962-2009 光学仪器术语
• GB/T 1800.2-2020 产品几何技术规范公差
• GB/T 18905.5-2002 软件产品评价光学测量系统
• SJ/T JianCe83-2014 液晶显示器用ITO膜规范

方法差异说明：ISO 4287与GB/T 13962在粗糙度参数定义存在算法差异；SEMI标准采用5点测量法而国标要求9点栅格扫描；IEC标准要求热循环后复测间距而GB侧重初始精度

检测设备

1. 激光共聚焦显微镜： KEYENCE VK-X3000（Z轴分辨率0.01nm，扫描速度4mm²/s）

2. 白光干涉仪： Bruker ContourGT-X8（垂直分辨率0.1nm，视场1.4×1.0mm）

3. 自动影像测量仪： Mitutoyo QV-302（重复性±0.08μm，最大载重30kg）

4. 扫描电子显微镜： TESCAN MIRA5（分辨率1.0nm@30kV，放大倍数200万×）

5. 原子力显微镜： Bruker Dimension Icon（空间分辨率0.2nm，扫描范围90μm）

6. 光学轮廓仪： Zygo NewView9000（相移干涉精度λ/1000，动态范围500μm）

7. 激光衍射仪： Malvern Mastersizer 3000（测量范围0.01-3500μm，重复性±0.5%）

8. 高精度投影仪： Nikon V12B（物镜20×，测量不确定度0.2+L/1000μm）

9. 三维表面形貌仪： Alicona InfiniteFocus G5（轴向分辨率10nm，倾角范围75°）

10. 微焦点X光检测系统： YXLON FF35CT（焦点尺寸0.5μm，几何放大倍率200×）

11. 红外热像仪： FLIR X8580SC（分辨率1280×1024，热灵敏度15mK）

12. 光谱椭偏仪： J.A. Woollam M-2000UI（波长范围190-1700nm，膜厚精度0.1Å）

13. 纳米压痕仪： KLA G200（载荷分辨率50nN，位移分辨率0.01nm）

14. 台阶仪： KLA Tencor P-7（探针半径2μm，垂直量程1mm）

15. 激光扫描共聚焦系统： Leica DCM8（横向分辨率120nm，Z重复性0.05nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。