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文章概述：光干涉仪：光干涉仪是一种常用的仪器，用于测量物体的形状和表面质量。
高精度测角仪：高精度测角仪可以用来测量物体之间的角度，包括隅角。
显微镜：显微镜可以放大和观察微小物体，用
光干涉仪：光干涉仪是一种常用的仪器，用于测量物体的形状和表面质量。
高精度测角仪：高精度测角仪可以用来测量物体之间的角度，包括隅角。
显微镜：显微镜可以放大和观察微小物体，用于检测隅角的形状和结构。
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