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文章概述：1. 激光扫描显微镜(LSM)：用于观察外延片表面形貌和微结构。
2. X射线衍射仪(XRD)：用于分析外延片的晶体结构和晶格常数。
3. 光电子能谱仪(XPS)：用于分析外延片表面元素的化学
1. 激光扫描显微镜(LSM)：用于观察外延片表面形貌和微结构。
2. X射线衍射仪(XRD)：用于分析外延片的晶体结构和晶格常数。
3. 光电子能谱仪(XPS)：用于分析外延片表面元素的化学状态和组成。
4. 高分辨透射电子显微镜(HRTEM)：用于观察外延片中的原子结构和晶界。
5. 原子力显微镜(AFM)：用于测量外延片表面的形貌和表面粗糙度。
