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制程检测仪器

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文章概述:1. 光学显微镜:用于观察样品的表面形貌、颗粒大小、缺陷、纹理等信息。
2. 扫描电子显微镜(SEM):通过扫描探针来获取高分辨率的表面形貌和形态信息。
3. 能谱仪:通过测量样品辐射

1. 光学显微镜:用于观察样品的表面形貌、颗粒大小、缺陷、纹理等信息。

2. 扫描电子显微镜(SEM):通过扫描探针来获取高分辨率的表面形貌和形态信息。

3. 能谱仪:通过测量样品辐射的能量谱来确定其元素成分和含量。

4. X射线衍射仪(XRD):用于分析样品的结晶结构、晶粒尺寸、晶格畸变等信息。

5. 傅里叶变换红外光谱仪(FTIR):用于分析和鉴定样品的化学结构、官能团、聚合程度等。

6. 热重分析仪(TGA):通过测量样品在高温条件下质量的变化来分析样品的热性能、热稳定性等。

7. 热膨胀仪(DIL):用于测量样品在温度变化下的线膨胀系数、热膨胀性质等。

8. 显微硬度计:用于测量样品的硬度,可以提供材料的硬度分布、硬度曲线等信息。

9. 电子束轰击仪(EBSD):通过测量电子背散射图案来分析样品的晶体结构、晶体取向等。

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中析研究所

北京中科光析科学技术研究所(简称中析研究所),隶属于北京前沿科学技术研究院,为集体所有制单位,是以科研检测为主的科学技术研究机构。中析研究所坚持基础研究与应用研究并重、应用研究和技术转化相结合,发展为以“任务带学科”为主要特色的综合性研究所。经国家有关部门批准,成为第三方分析测试技术服务单位,旗下实验室机构获得CMA资质认证。开展了研发设计、分析检测、试验验证、共性加工、信息及知识产权等服务,为科技型企业创新提供公共服务。本所得到政府创新基金的支持,被评为国家高新技术企业。

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