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文章概述：电子显微镜：可用于观察位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：可以分析位错对晶体结构的影响。
原子力显微镜：能够检测位错引起的表面形貌变化。
电子显微镜：可用于观察位错的形态和分布。
X 射线衍射仪：可以分析位错对晶体结构的影响。
原子力显微镜：能够检测位错引起的表面形貌变化。
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