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文章概述：X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：能提供高分辨率的表面形貌和位错信息。
正电子湮没谱仪：用于研究位错附近
X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：能提供高分辨率的表面形貌和位错信息。
正电子湮没谱仪：用于研究位错附近的缺陷。
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