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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
扫描电子显微镜：可观察位错的形态和分布。
透射电子显微镜：提供高分辨率的位错图像。
原子力显微镜：用于检测位错的表面形貌。
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
扫描电子显微镜：可观察位错的形态和分布。
透射电子显微镜：提供高分辨率的位错图像。
原子力显微镜：用于检测位错的表面形貌。
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