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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构，可检测到位错缺陷。
电子显微镜：包括透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM），可直接观察到位错缺陷的形态和分布。
原子力显微镜（AFM）：用于测量表面
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构，可检测到位错缺陷。
电子显微镜：包括透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM），可直接观察到位错缺陷的形态和分布。
原子力显微镜（AFM）：用于测量表面形貌和力学性能，可检测到位错缺陷引起的表面变化。
光学显微镜：在某些情况下，可用于观察位错缺陷的宏观特征。
X 射线形貌术：通过 X 射线衍射技术来检测位错缺陷。
