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文章概述：光学显微镜检测：通过观察样品表面的反射或透射光来检测位错缺陷。
电子显微镜检测：利用电子束与样品相互作用产生的信号来检测位错缺陷。
X 射线衍射检测：通过分析样品的 X 射
光学显微镜检测：通过观察样品表面的反射或透射光来检测位错缺陷。
电子显微镜检测：利用电子束与样品相互作用产生的信号来检测位错缺陷。
X 射线衍射检测：通过分析样品的 X 射线衍射图谱来检测位错缺陷。
扫描探针显微镜检测：使用探针扫描样品表面来检测位错缺陷。
原子力显微镜检测：通过测量探针与样品之间的相互作用力来检测位错缺陷。
