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文章概述：扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品表面的微观结构和形貌。
能谱分析（EDS）：用于分析样品表面的元素组成。
波长色散谱仪（WDS）：用于分析样品表面的元素组成，具有更高的分辨率和准确性。
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品表面的微观结构和形貌。
能谱分析（EDS）：用于分析样品表面的元素组成。
波长色散谱仪（WDS）：用于分析样品表面的元素组成，具有更高的分辨率和准确性。
二次离子质谱（SIMS）：用于分析样品表面的元素和同位素组成。
原子力显微镜（AFM）：用于观察样品表面的微观结构和形貌，具有更高的分辨率。
