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文章概述：扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品表面的微观结构和成分分布。
电子探针微分析仪（EPMA）：可以进行元素分析和成分分布的检测。
原子力显微镜（AFM）：用于测量样品表面的形貌和力学性质。
扫描电子显微镜（SEM）：用于观察样品表面的微观结构和成分分布。
电子探针微分析仪（EPMA）：可以进行元素分析和成分分布的检测。
原子力显微镜（AFM）：用于测量样品表面的形貌和力学性质。
激光共聚焦显微镜（LCM）：可以对样品进行三维成像和分析。
X 射线衍射仪（XRD）：用于分析样品的晶体结构和相组成。
