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文章概述：微光束方法检测是一种用于分析材料微观结构和成分的技术。
它通过将一束细小的电子束或离子束聚焦在样品表面上，然后测量反射、散射或发射的信号来获取信息。
该方法可以用于
微光束方法检测是一种用于分析材料微观结构和成分的技术。
它通过将一束细小的电子束或离子束聚焦在样品表面上，然后测量反射、散射或发射的信号来获取信息。
该方法可以用于检测材料的晶体结构、化学成分、表面形貌等。
它具有高分辨率、高灵敏度和非破坏性等优点，适用于各种材料的分析。
