微电子学检测方法
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文章概述:电学性能测试:包括电流-电压特性、电容-电压特性、电阻等的测量,用于评估微电子器件的电学性能。
光学性能测试:如发光二极管的发光强度、波长等的测量,用于研究微电子器件的光
电学性能测试:包括电流-电压特性、电容-电压特性、电阻等的测量,用于评估微电子器件的电学性能。
光学性能测试:如发光二极管的发光强度、波长等的测量,用于研究微电子器件的光学特性。
可靠性测试:包括热循环测试、湿度测试、振动测试等,用于评估微电子器件在不同环境条件下的可靠性。
材料分析测试:如 X 射线衍射、扫描电子显微镜等,用于分析微电子器件的材料结构和成分。
失效分析测试:通过对失效器件的分析,找出失效原因,为改进器件设计和制造工艺提供依据。