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文章概述：外延生长结检测主要用于半导体材料和器件的研究与生产中，以评估外延层的质量和性能。常见的外延生长结检测对象包括但不限于：半导体晶片：如硅晶片、砷化镓晶片等。外延层：如硅外
外延生长结检测主要用于半导体材料和器件的研究与生产中，以评估外延层的质量和性能。
常见的外延生长结检测对象包括但不限于：
半导体晶片：如硅晶片、砷化镓晶片等。
外延层：如硅外延层、砷化镓外延层等。
半导体器件：如二极管、晶体管、集成电路等。
量子阱结构：用于量子器件的研究与制造。
异质结结构：如 GaAs/AlGaAs 异质结等。
金属-半导体接触：如欧姆接触、肖特基接触等。
半导体薄膜：如 ZnO 薄膜、GaN 薄膜等。
