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文章概述：外延气相生长检测主要应用于半导体材料和器件的制备过程中，用于检测外延层的质量和性能。常见的外延气相生长检测对象包括但不限于：硅外延层：用于集成电路制造。化合物半导体外
外延气相生长检测主要应用于半导体材料和器件的制备过程中，用于检测外延层的质量和性能。
常见的外延气相生长检测对象包括但不限于：
硅外延层：用于集成电路制造。
化合物半导体外延层：如 GaAs、InP 等，用于光电子器件制造。
金属有机化合物气相外延（MOCVD）生长的外延层。
分子束外延（MBE）生长的外延层。
外延层的厚度、掺杂浓度、晶体质量等参数的检测。
外延层表面形貌和缺陷的检测。
外延层电学性能的检测，如电阻率、载流子浓度等。
外延层光学性能的检测，如发光效率、吸收系数等。
