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文章概述：外延硅检测主要应用于半导体行业，用于检测外延硅的质量和性能。常见的外延硅检测对象包括但不限于：外延硅晶圆：用于制造半导体器件的基础材料。外延硅层：外延硅晶圆上的一层薄硅
外延硅检测主要应用于半导体行业，用于检测外延硅的质量和性能。
常见的外延硅检测对象包括但不限于：
外延硅晶圆：用于制造半导体器件的基础材料。
外延硅层：外延硅晶圆上的一层薄硅。
外延硅器件：如晶体管、二极管等。
外延硅芯片：用于集成电路制造的芯片。
外延硅外延片：用于外延生长的硅片。
外延硅衬底：用于外延生长的基底材料。
