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文章概述：X 射线衍射法：用于检测外延层的晶体结构和结晶质量。
扫描电子显微镜：可观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和厚度。
光致发光谱：检测
X 射线衍射法：用于检测外延层的晶体结构和结晶质量。
扫描电子显微镜：可观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和厚度。
光致发光谱：检测外延层的光学性能和杂质浓度。
霍尔效应测量：确定外延层的载流子浓度和迁移率。
二次离子质谱：分析外延层中的元素组成和杂质分布。
