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文章概述：椭偏仪法是一种用于检测薄膜厚度和光学常数的技术。它通过测量光在薄膜表面反射时的偏振态变化来获取信息。
该方法的检测范围包括薄膜厚度、折射率、消光系数等光学参数。
椭偏仪法是一种用于检测薄膜厚度和光学常数的技术。它通过测量光在薄膜表面反射时的偏振态变化来获取信息。
该方法的检测范围包括薄膜厚度、折射率、消光系数等光学参数。
椭偏仪法具有非接触、高灵敏度、高精度等优点，适用于各种薄膜材料的检测。
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