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文章概述：电子显微镜：用于观察光刻机的微观结构和缺陷。
激光干涉仪：测量光刻机的光学性能和精度。
频谱分析仪：分析光刻机的光学信号和频谱特性。
示波器：检测光刻机的电信号和波形。
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电子显微镜：用于观察光刻机的微观结构和缺陷。
激光干涉仪：测量光刻机的光学性能和精度。
频谱分析仪：分析光刻机的光学信号和频谱特性。
示波器：检测光刻机的电信号和波形。
光度计：测量光刻机的光强和波长。
自动测试设备（ATE）：对光刻机进行全面的性能测试和功能验证。
