检测项目

1.电子束流稳定性：测量0.5%偏差范围内的长期稳定性（1-100mA）

2.加速电压精度：验证30-150kV区间误差≤0.1%

3.束斑直径均匀性：扫描范围内直径波动≤3μm（基准值50μm）

4.真空系统密封性：维持110^-5Pa基础真空度24小时压升率＜5%

5.阴极寿命测试：连续工作500小时发射电流衰减≤15%

检测范围

1.金属薄膜镀层（厚度50nm-5μm）

2.半导体晶圆表面处理层（硅/砷化镓基材）

3.陶瓷基板导电涂层（氧化铝/氮化铝基体）

4.聚合物表面金属化处理件（ABS/PC基材）

5.高熔点金属构件（钨/钼合金工件）

检测方法

1.ASTME2735-2014电子枪束流稳定性测试规程

2.ISO14606:2015电子光学系统加速电压校准方法

3.GB/T23414-2009微束分析仪器通用规范

4.ISO16700:2016扫描电镜束斑特性表征标准

5.GB/T28871-2012电子探针分析通则

检测设备

1.ThermoScientificApreo2扫描电镜：束斑直径测量（分辨率0.7nm）

2.KeysightB2912A精密源表：电压/电流精度校准（0.002%基本精度）

3.PfeifferHiCube80Eco真空系统：极限真空度测试（510^-7Pa）

4.Keithley2450SourceMeter：阴极发射特性分析（1pA-1A量程）

5.BrukerQuantaxEDS能谱仪：镀层成分验证（探测限0.1wt%）

6.Agilent34461A数字万用表：系统电路参数监测（6位分辨率）

7.INFICONIC6000氦质谱检漏仪：真空密封性测试（灵敏度510^-12mbarL/s）

8.OmicronISE10束流剖面仪：电子束空间分布测量（采样率10kHz）

9.Fluke289真有效值记录万用表：电源稳定性监测（0.025%基本精度）

10.ZeissSigma300场发射电镜：微观形貌关联分析（着陆电压0.02-30kV）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。