检测项目

1.数值孔径校准：测量范围0.1-1.4NA，精度0.002NA

2.波前畸变分析：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS≤λ/20

3.透射率测试：光谱范围400-1100nm，精度0.5%

4.像场均匀性检测：全视场照度偏差≤3%

5.表面粗糙度测量：Ra≤0.5nm（2020μm扫描区域）

检测范围

1.光学玻璃：BK7、FusedSilica等材质物镜

2.晶体材料：氟化钙（CaF₂）、氟化镁（MgF₂）透镜

3.镀膜元件：抗反射膜、分光膜的膜层性能验证

4.聚合物材料：PMMA、PC材质非球面透镜

5.半导体材料：光刻机用高NA浸没式物镜

检测方法

1.ISO10934:2021《显微镜-物镜标记》尺寸公差验证

2.GB/T7661-2009《光学零件表面疵病》缺陷分级判定

3.ASTME1951-14(2020)激光干涉法波前测量规程

4.ISO10110-5:2015光学系统表面粗糙度测试方法

5.GB/T26323-2010光学晶体透过率测试规范

检测设备

1.ZygoVerifire™MST激光干涉仪：波长632.8nm，PV重复性0.002λ

2.OlympusMX63金相显微镜：500放大倍率，NA=0.95

3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：带宽0.1nm，波长精度0.08nm

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm

5.TriopticsOptiCentric双光路中心偏仪：角度分辨率0.1arcmin

6.MitutoyoSURFTESTSJ-410粗糙度仪：Z轴量程800μm

7.ThorlabsBP209-VIS/M光束分析仪：像素尺寸4.4μm4.4μm

8.Newport1918-C光功率计：量程20pW-200mW

9.AgilentCary7000全能型分光光度计：支持0-70入射角测试

10.NikonNEXIVVM-500影像测量仪：重复精度0.8μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。