检测项目

1. 点阵间距测量：XY轴向间距公差±0.5μm（@25℃），Z轴层间公差±1.2μm

2. 坐标定位偏差：最大允许误差≤±0.8μm（基于ISO 10360-2标准）

3. 重复定位精度：3σ值≤0.3μm（连续20次测量循环）

4. 角度偏移量：θx/θy轴角分辨率0.001°，测量范围±5°

5. 表面共面度：平面度误差≤λ/4（λ=632.8nm激光波长）

检测范围

1. 半导体晶圆：12英寸硅片曝光标记点阵定位

2. OLED显示面板：RGB像素矩阵排列精度验证

3. 衍射光学元件：微结构周期相位分布检测

4. 金属增材件：SLM成型支撑点阵形变分析

5. 碳纤维复合材料：铺层定位标记三维坐标校准

检测方法

1. 激光干涉法：ASTM E2848-19标准规定波长稳定性需优于0.01ppm

2. 白光共焦扫描：ISO 25178-602对台阶高度测量不确定度要求＜3%

3. X射线断层扫描：GB/T 35388-2017层析分辨率应达0.5μm/voxel

4. 机器视觉定位：GB/T 38659-2020规定亚像素算法精度≥1/50像素

5. 原子力显微测量：ISO 11039:2011接触模式力控范围0.1-100nN

检测设备

1. Zygo Verifire MST激光干涉仪：波长632.8nm，重复性0.15nm RMS

2. Keyence LM-9000坐标测量机：最大量程1200×800×600mm，U95=1.2+L/400μm

3. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s

4. Zeiss Xradia 620 Versa显微CT：空间分辨率0.7μm@50kV，4D扫描功能

5. Olympus LEXT OLS5000激光共焦显微镜：405nm激光源，横向分辨率120nm

6. Hexagon Leitz PMM-C Infinity三坐标机：MPEE=0.6+L/333μm，温度补偿±0.1℃

7. Nikon NEXIV VMZ-S3520视频测量系统：双远心镜头，放大倍率35×-210×

8. Park NX-Hivac原子力显微镜：非接触模式Z噪声＜0.02nm RMS

9. Mitutoyo Quick Vision Pro影像仪：双CCD自动对焦系统，重复精度±0.3μm

10. OGP SmartScope Flash 500多传感器系统：配备12MP彩色CMOS与激光扫描头

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。