检测项目

1.线宽精度：测量图形边缘分辨率偏差值，允许公差0.1μm（@1X掩膜版）

2.透光率：紫外波段（365nm）透射率≥95%，局部波动≤1.5%

3.缺陷密度：采用0.13μm灵敏度扫描仪检测，Class10级掩膜版缺陷数≤0.01个/cm

4.热膨胀系数：温度循环（20-80℃）下尺寸稳定性≤0.5ppm/℃

5.表面粗糙度：原子力显微镜（AFM）测试Ra≤0.5nm

检测范围

1.石英基板掩膜版：适用于DUV光刻工艺的硬质透明基材

2.铬膜掩膜版：金属镀层图形化产品（Cr厚度80-120nm）

3.乳胶掩膜版：低成本PCB制程用有机感光材料

4.柔性聚合物掩膜版：卷对卷工艺用PET/PEN基材

5.相位偏移掩膜版（PSM）：含MoSiON多层结构的先进制程产品

检测方法

1.ASTMF1526-2021：透射/反射光谱法测定光学特性

2.ISO14645:2020：激光干涉仪线宽测量标准流程

3.GB/T16594-2008：原子力显微镜表面形貌测试规范

4.SEMIP35-1109：半导体用掩膜版缺陷分类标准

5.GB/T29732-2013：石英玻璃热膨胀系数测试方法

检测设备

1.KLA-TencorP16+：0.13μm分辨率激光缺陷扫描系统

2.ZygoNewView9000：白光干涉三维形貌分析仪

3.HitachiCG4100：临界尺寸扫描电镜（CD-SEM）

4.BrukerDimensionIcon：原子力显微镜（AFM）

5.ThermoScientificiCAPRQ：ICP-MS金属杂质分析仪

6.AgilentCary7000：全波段分光光度计

7.NikonMM-400T：自动影像测量系统（精度0.25μm）

8.NetzschDIL402Expedis：热膨胀系数测试仪

9.VeecoNT9100：非接触式表面粗糙度测量仪

10.LasertecMPM300：多波长相位测量系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。