检测项目

1. 静态密封性测试：压力范围0.1-40MPa，泄漏率阈值≤5×10⁻⁹ Pa·m³/s

2. 动态泄漏率测定：流量分辨率0.1mL/min，可测最小泄漏率1×10⁻¹² Pa·m³/s

3. 真空系统检漏：背景压强≤1×10⁻⁴ Pa，本底噪声≤5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

4. 多通道并行测试：支持8-32通道同步监测，数据采样率≥10Hz

5. 高温工况模拟：温度范围-196℃~300℃，热循环次数≥500次

检测范围

1. 真空设备：分子泵腔体、镀膜设备真空室、低温超导磁体杜瓦

2. 核工业组件：燃料棒包壳管、反应堆压力容器密封面、核级阀门

3. 汽车零部件：动力电池模组壳体、氢燃料电池双极板、涡轮增压器

4. 电子器件：MEMS封装结构、晶圆级封装芯片、高功率激光器模块

5. 航天部件：推进剂贮箱焊缝、舱门密封圈、星载光学仪器外壳

检测方法

1. ASTM E499-20：标准真空模式氦质谱检漏法（喷吹法/吸枪法）

2. ISO 20486:2017：累积法泄漏量测量规范（示踪气体浓度校准）

3. GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测章节技术定义

4. ASTM F2391-22：医疗器械包装完整性氦检验证标准方法

5. GB/T 34635-2017：真空技术-氦质谱检漏仪校准规范

检测设备

1. Leybold PHOENIX L300i：四极杆质谱仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ mbar·L/s

2. Agilent HDS 3010M：双通道检漏系统，支持SNIFFER/VACUUM双模式

3. INFICON UL1000 Fab：半导体专用检漏仪，兼容300mm晶圆传输系统

4. Pfeiffer ASM 340：模块化设计，内置6种自动测试程序库

5. Edwards TIC系列：涡轮分子泵集成系统，启动时间＜8分钟

6. Varian 979系列：磁偏转质谱技术，线性量程达9个数量级

7. Shimadzu MSQ-TF800：高温探头（400℃）专用型氦检装置

8. Canon ANELVA STD-3600：多工位转台式自动化测试平台

9. ULVAC HELIOT 700：氦回收循环系统，气体消耗量降低70%

10. Kurt J.Lesker LT-560：便携式检漏仪，重量＜15kg

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。