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激光再结晶检测

因您的需求、实验方案、检测样品、测试过程不同,相应的参考标准请咨询在线工程师!

文章概述:激光再结晶检测是评估材料经激光处理后微观结构变化的关键技术手段,主要应用于半导体、金属及复合材料领域。核心检测指标包括晶粒尺寸分布、残余应力、表面形貌及热影响区深度等参数。本检测需严格遵循国际标准与设备规范,确保数据准确性和工艺可重复性。

检测项目

1. 晶粒尺寸分布:测量范围0.1-500μm,精度±5nm(SEM法)

2. 表面粗糙度:Ra值0.01-10μm(白光干涉仪)

3. 残余应力:测试范围±2000MPa(X射线衍射法)

4. 热影响区深度:测量精度±0.5μm(金相切片法)

5. 显微硬度:载荷范围10-1000gf(维氏硬度计)

检测范围

1. 半导体材料:硅晶圆、砷化镓基板等

2. 金属合金:钛合金TC4、镍基高温合金Inconel 718

3. 陶瓷材料:氧化铝(Al₂O₃)、氮化硅(Si₃N₄)

4. 高分子材料:聚酰亚胺薄膜(PI)、聚醚醚酮(PEEK)

5. 光学元件:熔融石英玻璃、蓝宝石窗口片

检测方法

1. ASTM E112-13 晶粒尺寸测定标准

2. ISO 25178-2:2022 表面形貌分析规范

3. GB/T 4340.1-2009 金属维氏硬度试验

4. ISO 21432:2019 无损检测-X射线应力测定

5. GB/T 13298-2015 金属显微组织检验方法

检测设备

1. Hitachi SU5000场发射扫描电镜:分辨率1nm@15kV

2. Bruker D8 ADVANCE X射线衍射仪:角度精度±0.0001°

3. Zygo NewView9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm

4. Shimadzu HMV-G21显微硬度计:最大载荷2000gf

5. Leica DM2700M金相显微镜:最大放大倍数1000×

6. Netzsch LFA467激光导热仪:温度范围-120~500℃

7. Oxford Instruments EBSD探测器:空间分辨率50nm

8. Keyence VK-X3000激光共聚焦显微镜:Z轴重复性3nm

9. Instron 5985万能试验机:载荷精度±0.5%

10. Malvern Mastersizer 3000粒度分析仪:量程0.01~3500μm

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

激光再结晶检测
中析研究所

北京中科光析科学技术研究所(简称中析研究所),隶属于北京前沿科学技术研究院,为集体所有制单位,是以科研检测为主的科学技术研究机构。中析研究所坚持基础研究与应用研究并重、应用研究和技术转化相结合,发展为以“任务带学科”为主要特色的综合性研究所。经国家有关部门批准,成为第三方分析测试技术服务单位,旗下实验室机构获得CMA资质认证。开展了研发设计、分析检测、试验验证、共性加工、信息及知识产权等服务,为科技型企业创新提供公共服务。本所得到政府创新基金的支持,被评为国家高新技术企业。

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