检测项目

1. 表面粗糙度测量：Ra值范围0.01-10μm，Rz值精度±5%

2. 微结构尺寸测定：孔径0.1-500μm，线宽0.05-200μm

3. 三维形貌重构：Sa值分辨率0.1nm，Sz值误差≤±3%

4. 涂层厚度分析：测量范围0.5-200μm，重复性±0.2μm

5. 缺陷特征量化：裂纹长度10-1000μm，气孔直径5-300μm

检测范围

1. 金属材料：铝合金阳极氧化层、钛合金微孔结构

2. 半导体元件：晶圆刻蚀图形、光刻胶层轮廓

3. 生物医学材料：骨植入物表面孔隙率、血管支架支撑梁尺寸

4. 高分子材料：塑料薄膜表面形貌、橡胶密封件微观裂纹

5. 光学元件：透镜曲率半径、棱镜角度偏差

检测方法

ASTM E3064-17《显微图像法测定表面粗糙度》

ISO 25178-2:2021《产品几何技术规范(GPS)-表面纹理:区域》

GB/T 34879-2017《三维显微测量系统校准规范》

GB/T 10610-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》

ISO 14978:2018《几何产品规范(GPS)-坐标测量机(CMM)的验收和复检》

检测设备

1. Keyence VHX-7000数字显微镜：配备20-6000倍电动变焦镜头，支持4K超景深成像

2. Olympus DSX1000三维数码显微镜：内置HDR功能，Z轴分辨率0.01μm

3. Zeiss Axio Imager M2m金相显微镜：配置EC Epiplan物镜组(5×-100×)

4. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s

5. Nikon MM-400测量显微镜：配备十字激光定位系统，重复精度±0.3μm

6. Leica DVM6超景深显微镜：集成16:1变倍比物镜，3D拼接误差≤0.5%

7. Mitutoyo QV-H302MD三坐标测量机：配备双远心镜头系统，XYZ轴精度(1.5+L/200)μm

8. Hirox RH-2000远程显微系统：支持360°旋转观测模块

9. Sensofar S neox三维光学轮廓仪：采用PSI/VSI混合扫描技术

10. Vision Engineering Lynx EVO体视显微镜：配置12:1动态变焦系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。