检测项目

1.分辨率测试：中心视场≥200lp/mm@MTF=0.3，边缘视场≥180lp/mm@MTF=0.252.畸变量化：全视场相对畸变≤0.05%，TV畸变≤0.02%3.透光率验证：可见光波段（400-700nm）平均透过率≥98.5%4.色差控制：轴向色差≤2μm，横向色差≤1.5μm5.焦距精度：标称焦距公差0.01mm（@546.1nm）

检测范围

1.半导体光刻用高NA（≥0.75）投影镜头组2.印刷制版用紫外波段（365nm）复消色差镜头3.激光直写系统用F-Theta扫描镜头4.显微成像用无限远校正物镜组5.大画幅胶片记录仪用非球面补偿镜头

检测方法

1.ASTME1951-14《光学系统分辨率测试标准方法》2.ISO9039-3:2021《光学系统畸变测量第三部分：数字图像分析法》3.GB/T26331-2010《光学系统透射比测量方法》4.ISO10110-5:2015《光学元件色差公差标注规范》5.GB/T13323-2009《光学零件焦距测量方法》

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波前误差测量精度λ/1000（@632.8nm）2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：空间频率分辨率0.5lp/μm3.MitutoyoMF-U1000超精密测量显微镜：XYZ轴定位精度0.25μm4.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长精度0.1nm（190-2500nm）5.OptikosLensCheck1500自动焦度计：焦距测量重复性0.002mm6.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度测量Ra≤0.1nm7.ThorlabsPAX1000偏轴抛物面校准系统：波前曲率半径测量误差≤0.01%8.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000万像素CCD配合20倍物镜9.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪：斯特列尔比测量精度2%10.Agilent5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.1nm（表面形貌分析）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。