生物实验室丨北京中科光析科学技术研究所

X 射线衍射仪：用于分析外延硅的晶体结构和晶格参数。
扫描电子显微镜：可以观察外延硅的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延硅的表面粗糙度和微观形貌。
霍尔效应

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外延检测是对半导体材料外延层的质量和性能进行评估的过程。以下是一些常用于外延检测的仪器：
1. **X 射线衍射仪（XRD）**：用于分析外延层的晶体结构和结晶质量。
2. **扫描电子

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X 射线衍射仪：用于分析外延结的晶体结构和晶格参数。
扫描电子显微镜：可以观察外延结的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延结的表面粗糙度和形貌。
四点探针：用于

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X 射线衍射仪：用于分析外延层的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可以观察外延层的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌。
光致发光谱仪：检测

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外延缺陷检测可以使用多种仪器，以下是一些常见的仪器：
1. 光学显微镜：用于观察外延层表面的缺陷，如位错、堆垛层错等。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：可以提供更高分辨率的图像，用于检测

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聚合酶链式反应仪：用于扩增 DNA 片段，以便进行外延伸检测。
凝胶电泳仪：用于分离和检测扩增后的 DNA 片段。
荧光定量 PCR 仪：用于定量检测扩增后的 DNA 片段。
基因测序仪：用于

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X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和外延层的质量。
扫描电子显微镜：可观察外延生长结的表面形貌和结构。
原子力显微镜：用于检测外延生长结的表面粗糙度和形貌。
拉曼光谱仪：可分

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外延生长膜检测通常使用多种仪器进行分析和测试，以下是一些常见的仪器：
1. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察外延生长膜的表面形貌和结构。
2. 原子力显微镜（AFM）：可以提供更高分辨率的

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