检测项目

1.氧化层厚度测量：采用台阶仪测试0.1-50μm范围内的膜层厚度（精度0.5nm）2.元素成分分析：通过EDS/XPS测定O、Si、Al等元素含量（检出限0.1at%）3.结晶相表征：XRD分析α-Al₂O₃/γ-Al₂O₃相比例（角度范围10-90）4.表面形貌观测：SEM观测微孔密度（分辨率3nm@15kV）5.耐腐蚀性能：盐雾试验评估72h后的腐蚀面积比（按ISO9227标准）

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆热氧化层、GaN外延片钝化膜2.金属合金：铝合金阳极氧化膜、钛合金微弧氧化涂层3.功能陶瓷：氧化锆热障涂层、氮化硅表面改性层4.电子元件：PCB板沉铜层、连接器镀金层5.医疗器械：骨科植入物氧化锆涂层、牙科种植体TiO₂膜

检测方法

1.ASTMB825:2020金属镀层厚度测量标准2.ISO14701:2021陶瓷涂层化学稳定性测试规程3.GB/T1771-2007色漆和清漆耐中性盐雾性能测定4.ISO21285:2019表面化学分析-X射线光电子能谱法5.GB/T16535-2008精细陶瓷薄膜厚度测试方法6.ASTME2865-12(2020)扫描电镜定量分析方法

检测设备

1.ThermoScientificK-AlphaX射线光电子能谱仪（XPS）：元素价态分析2.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪（XRD）：晶体结构解析3.ZeissGeminiSEM500场发射扫描电镜（FE-SEM）：纳米级形貌观测4.PerkinElmerOptima8300电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）：痕量元素定量5.Keysight5500原子力显微镜（AFM）：表面粗糙度测量（分辨率0.1nm）6.FischerscopeXDV-μX射线测厚仪：非破坏性膜厚测量（精度1%）7.Q-FogCCT1100盐雾试验箱：复合腐蚀环境模拟（温度范围15-55℃）8.MalvernPanalyticalEmpyreanX射线反射仪（XRR）：超薄膜层分析（1-200nm）9.HitachiUH4150紫外可见分光光度计：光学膜层透过率测试（波长范围190-2600nm）10.Agilent7900ICP-MS：ppb级金属杂质检测

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。